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    發表多功能晶圓量測機

    編輯:管理員   瀏覽:  日期:2018-03-03

    測量重點:

    1、高速/無接觸光學量測

    2、奈米深度3D檢測

    3、表面形貌/粗糙度分析

    4、非透明材質/透明材質形貌分析

    5、1μm透明膜厚度量測

    6、多層膜厚度量測

    7、非透明樣本總厚度量測

    解決方案與優點:

    1、操作流程簡易,降低教育訓練成本

    2、人工放置待測物,機臺自動化跑位、量測與報表輸出

    3、多孔陶瓷吸盤完整吸附待測物

    4、花崗巖底座搭配汽浮式防震桌,有效隔離高頻振動,將機身振動影像降至最低

    5、高精度移動馬達

    6、針對無塵室環境設計的防塵外罩

    7、連線管理SECS/GEM(選配)

    有效解決半導體業的相關測量問題

     

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